首页    多轴组合/整体式位移台    XY整体式载物台    型号:XY3-7550

型号:XY3-7550

• 压电马达驱动,断电自锁,节能稳定,内具刹车功能,无回程间隙

• X轴20毫米和Y轴20毫米行程,简洁紧凑型设计

• 光栅反馈,分辨率可选,最小步进可达100nm,重复定位精度可达+/-300nm

• 可应用于半导体制造,显微技术,表面测量技术,微纳加工,生物和自动化技术

• 厂家直销,一手货源,价格更低,品质更好,货期更短

• 货期与价格请拨打0575-84882698咨询

产品描述

型号

XY2-7550

行程(mm

75*50

驱动马达

压电马达

最大负载(KG

1.0

最大速度(mm/s

20

最小步距(nm

100nm

重复定位精度(nm

+/-300

位置传感器

光栅

材质

铝合金

重量(Kg

2.0

 

产品规格